Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and...

Main
Engineering
Microlithography Fundamentals in...

Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

Name: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
ISBN: 9781482273762

Saburo Nonogaki (Author), Ueno Takumi (Author), Toshio Ito (Author)

0 / 0

0 comments

Πόσο σας άρεσε αυτό το βιβλίο;

Ποια είναι η ποιότητα του ληφθέντος αρχείου;

Κατεβάστε το βιβλίο για να αξιολογήσετε την ποιότητά του

Ποια είναι η ποιότητα των ληφθέντων αρχείων;

"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."

Κατηγορίες:

Engineering

Έτος:

1998

Έκδοση:

Εκδότης:

CRC Press

Γλώσσα:

english

ISBN 10:

1351822020

ISBN 13: