Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Main
Вакуумно-плазменные методы получения...

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Данилина Т. И.

0 / 0

Πόσο σας άρεσε αυτό το βιβλίο;

Ποια είναι η ποιότητα του ληφθέντος αρχείου;

Κατεβάστε το βιβλίο για να αξιολογήσετε την ποιότητά του

Ποια είναι η ποιότητα των ληφθέντων αρχείων;

Εκδότης:

ТУСУР

Γλώσσα:

russian

Σελίδες:

89

ISBN 10:

5725606562

ISBN 13:

9785725606560

Αρχείο:

PDF, 1.06 MB

IPFS:

,

russian0

Διαβάστε online

Η μετατροπή σε βρίσκεται σε εξέλιξη

Η μετατροπή σε απέτυχε

Ίσως σας ενδιαφέρει

Ершов А. В., Нежданов А. В. — Напыление тонких пленок испарением в вакууме: Практикум

Майссел Л., Глэнг Р. — Технология тонких пленок (справочник)

коллектив авторов. — Физика и техника вакуума [Текст]

Орликов Леонид Николаевич — ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Учебное пособие Часть 1

Вдовичев С. Н. — Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур: Электронное учебно-методическое пособие

Вдовичев С. Н. — Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур: Электронное учебно-методическое пособие

Шумский Кирион Павлович, Под редакцией И.С.Шумской. — Вакуумные аппараты и приборы химического машиностроения

Майссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко. — Технология тонких пленок. Справочник

Иванов В.И. — Безмасляные вакуумные насосы

Пипко А.И. и др. — Основы вакуумной техники.

Королев Б.И., Кузнецов В.И., Пипко А.И., Плисковский В.Я. — Основы вакуумной техники

Орликов Л.Н. — Основы технологии оптических материалов и изделий. Часть 1

Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р. — Ионно-плазменная обработка металлов. Курс лекций.

Орликов Л.Н. — Технология материалов и изделий электронной техники (часть 1)

Иванов В.И. — Вакуумная техника

Вдовичев С.Н. — Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур

Березин В.М. — Методы формирования тонкоплёночных структур

Удовиченко С.Ю. — Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть1-я

Данилина Т.И., Смирнова К.И. и др. — Процессы Микро и Нанотехнологии

Колесник В.П., Колесник В.В. — Технологические генераторы плазмы

Григорьев Ф.И. — Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники

Петухов В.Ю., Гумаров Г.Г. — Ионно-лучевые методы получения тонких пленок

Достанко А.П. и др. — Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые

Макарчук М.В., Королев А.П. — Физика тонких пленок

Юрьева А.В. — Расчёт вакуумных систем

Орликов Л. Н. — Вакуумные и специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Данилина Т. И. — Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Орликов Л. Н. — Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики

Орликов Л. Н. — Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

Данилина Т. И. — Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

сост. : Г. Н. Чурилов, А. И. Дудник. — Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимации

Минайчев Виктор Егорович — Вакуумное оборудование для нанесения пленок

В.Е.Минайчев, В.В.Одиноков, Г.П.Тюфаева. — Магнетронные распылительные устройства (магратроны). Обзор по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1979 гг

Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера — Вакуумное нанесение тонких пленок

Иванов А. А. — Физико-химические основы технологии электронных средств

Φράσεις κλειδιά

распыления

давления

давление

поверхности

осаждения

скорость

подложки

давлений

испарения

материала

электронов

вещества

температура

получения

распыление

температуре

количество

скорости

температуры

действия

коэффициент

вакуумной

подложке

кислорода

определяется

давлении

ионизации